潔凈室火災(zāi)危害預(yù)防及處理:
警報設(shè)備:
a. 裝置位置:
1、高度:潔凈室內(nèi)部高度通常較一般建筑為大,在選用探測器時應(yīng)將天花板高度考慮在內(nèi)。
2、通風(fēng)換氣設(shè)備:裝設(shè)偵煙式探測器時,應(yīng)設(shè)于煙霧流動必經(jīng)途徑,裝設(shè)感熱式探測器時,應(yīng)設(shè)于易蓄熱處,因此通風(fēng)換氣設(shè)備之出風(fēng)口或回風(fēng)口,應(yīng)注意與探測器保持一定距離,方能迅速感應(yīng)及動作。
3 、層流現(xiàn)象:潔凈室內(nèi)因換氣頻繁,平均約六秒鐘席卷整個空間一次,同時間單位內(nèi)的空氣流動量高出一般建筑物甚多,因此空氣流動的層流現(xiàn)象應(yīng)考慮在內(nèi),以避免探測器無法有效測知火災(zāi),形同虛設(shè)。
b.種類:火焰式探測器、偵煙式探測器、極早期探測裝置,潔凈室防災(zāi)時,重點在于早期發(fā)現(xiàn),因此靈敏度越高越好,以期災(zāi)害發(fā)生初期便能反應(yīng),甚至在尚未發(fā)火前便能測知有發(fā)火的可能性,如極早期探測裝置便是以此為理念的設(shè)計。
送風(fēng)量大
潔凈度的提高和維持是半導(dǎo)體器件廠房空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計和運行的重要任務(wù),這一任務(wù)的完成要依賴很高的送風(fēng)量,是以高能耗為代價的。就送風(fēng)量而言,一般辦公大樓換氣次數(shù)為10h-1左右,而大規(guī)模半導(dǎo)件器件廠房內(nèi),為了滿足相應(yīng)的潔凈度要求,需要保證很高的換氣次數(shù),致使循環(huán)風(fēng)量非常大。100級潔凈室的換氣次數(shù)可選到400h-1,10000級潔凈室的換氣次數(shù)日選到40 h-1,100000級潔凈室的換氣次數(shù)也要30 h-1。
人是凈化間內(nèi)主要塵源之一。尤其是工作人員在潔凈環(huán)境中的活動,會明顯地增加潔凈環(huán)境的污染程度。因此,要獲得生產(chǎn)環(huán)境所需要的空氣潔凈度等級,對凈化間的人員活動進(jìn)行控制,是有效的途徑和措施。要把凈化間各項規(guī)章制度真正落到實處,關(guān)鍵就是人員的日常管理,把人員凈化管理作為首要控制要素,所以應(yīng)該針對凈化間進(jìn)出人員進(jìn)行各項培訓(xùn)。 (1)對新入職人員進(jìn)行凈化間潔凈知識培訓(xùn)。
(2)對操作人員在凈化間操作設(shè)備,搬運物料的專項培訓(xùn)。
(3)對所有進(jìn)出凈化間的人員進(jìn)行衣著穿戴,進(jìn)出制度的培訓(xùn)。
(4)對所有人員在凈化間的日常行為規(guī)范的培訓(xùn)。
每項培訓(xùn)后,都要組織進(jìn)行培訓(xùn)效果的評估和考核,使人員在意識上認(rèn)知:人員是凈化間內(nèi)重要污染源,使大家在行動上能恪守相關(guān)的行為準(zhǔn)則,比如:
a. 所有人員必須建立一個凈化間的概念,必須清楚地了解所有不規(guī)范的行為均有可能產(chǎn)生出廢品,并列舉出正確的凈化間行為規(guī)范及不規(guī)范的行為的種類。
b. 進(jìn)入凈化間時,必須按正確流程穿戴凈化服、口罩、手套、凈化鞋。更換衣服時,必須防止干凈的凈化服拖到地面,或者和人員日常的非凈化服裝混放,造成凈化服表面被沾污。
c. 在凈化間中,人員的說話、咳嗽、打噴嚏等都會使唾液從口罩與皮膚的縫隙處噴出而污染產(chǎn)品;在咳嗽或打噴嚏時,必須將頭從產(chǎn)品處移開,打噴嚏后一般都要更換口罩;口罩一定要罩在鼻子上而不得戴在鼻下。