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洗手消毒設(shè)施 車間入口處要設(shè)置有與凈化車間內(nèi)人員數(shù)量相適應(yīng)的洗手消毒設(shè)施，洗手龍頭所需配置的數(shù)量，配置比例應(yīng)該為每 10 人1 個(gè)，200 人以上每增加20人增設(shè)1個(gè)。洗手龍頭必須為非手動(dòng)開關(guān)，洗手處須有皂液器，并有熱水供應(yīng)，出水為溫水。 盛放手消毒液的容器，在數(shù)量上也要與使用人數(shù)相適應(yīng)，并合理放置，以方便使用。干手用具必須是不會(huì)導(dǎo)致交叉污染的物品，如一次性紙巾，消毒毛巾等。 在凈化車間內(nèi)適當(dāng)?shù)奈恢?，?yīng)安裝足夠數(shù)量的洗手，消毒設(shè)施和配備 相應(yīng)的干手用品，以便工人在生產(chǎn)操作過程中定時(shí)洗手，消毒，或在弄臟手后能及時(shí)和方便地洗手。 從洗手處排出的水不能直接流淌在地面上，要經(jīng)過水封導(dǎo)入排水管。
衛(wèi)生間 為了便于生產(chǎn)衛(wèi)生管理，與凈化車間相連的衛(wèi)生間，不應(yīng)設(shè)在加工作業(yè)區(qū)內(nèi)，可以設(shè)在更衣區(qū)內(nèi)。衛(wèi)生間的門窗不能直接開向加工作業(yè)區(qū)，衛(wèi)生間的墻面，地面和門窗應(yīng)該用淺色，易清洗消毒，耐腐蝕，不滲水的材料建造，并配有沖水，洗手消毒設(shè)施，窗口有防蟲蠅裝置。
溫度測試是確認(rèn)空氣處理設(shè)施的溫度控制能力，溫度測試應(yīng)在凈化車間進(jìn)行調(diào)試，氣流均勻性測試完成，并在凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運(yùn)行24H以上后進(jìn)行。凈化車間的溫度測試有功能溫度測試和一般溫度測試。功能溫度測試主要用于需嚴(yán)格控制溫度精度時(shí)或建設(shè)方要求在“靜態(tài)”或“動(dòng)態(tài)”進(jìn)行測試時(shí)應(yīng)用;一般溫度測試主要使用于“空態(tài)”時(shí)溫度測試。
潔凈車間功能溫度測試，應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積的柵格，每個(gè)分格面積不超過100平方米或與建設(shè)方協(xié)商確定，每格測點(diǎn)1個(gè)以上，每個(gè)房間測點(diǎn)至少2個(gè)。測試高度應(yīng)為工作面高度，距的吊頂、墻面和地面不小于300MM，并應(yīng)考慮熱源等的影響，測量時(shí)間應(yīng)至少1H，并至少6min測量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。凈化車間一般溫度測試的測點(diǎn)，每個(gè)溫度控制區(qū)或每個(gè)房間1個(gè)測點(diǎn)，測試點(diǎn)高度宜為工作面高度，測量時(shí)間應(yīng)至少1H，并至少6min測量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。
凈化車間之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為凈化車間。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，凈化車間無塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
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