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洗手消毒設(shè)施 車(chē)間入口處要設(shè)置有與凈化車(chē)間內(nèi)人員數(shù)量相適應(yīng)的洗手消毒設(shè)施，洗手龍頭所需配置的數(shù)量，配置比例應(yīng)該為每 10 人1 個(gè)，200 人以上每增加20人增設(shè)1個(gè)。洗手龍頭必須為非手動(dòng)開(kāi)關(guān)，洗手處須有皂液器，并有熱水供應(yīng)，出水為溫水。 盛放手消毒液的容器，在數(shù)量上也要與使用人數(shù)相適應(yīng)，并合理放置，以方便使用。干手用具必須是不會(huì)導(dǎo)致交叉污染的物品，如一次性紙巾，消毒毛巾等。 在凈化車(chē)間內(nèi)適當(dāng)?shù)奈恢?，?yīng)安裝足夠數(shù)量的洗手，消毒設(shè)施和配備 相應(yīng)的干手用品，以便工人在生產(chǎn)操作過(guò)程中定時(shí)洗手，消毒，或在弄臟手后能及時(shí)和方便地洗手。 從洗手處排出的水不能直接流淌在地面上，要經(jīng)過(guò)水封導(dǎo)入排水管。
衛(wèi)生間 為了便于生產(chǎn)衛(wèi)生管理，與凈化車(chē)間相連的衛(wèi)生間，不應(yīng)設(shè)在加工作業(yè)區(qū)內(nèi)，可以設(shè)在更衣區(qū)內(nèi)。衛(wèi)生間的門(mén)窗不能直接開(kāi)向加工作業(yè)區(qū)，衛(wèi)生間的墻面，地面和門(mén)窗應(yīng)該用淺色，易清洗消毒，耐腐蝕，不滲水的材料建造，并配有沖水，洗手消毒設(shè)施，窗口有防蟲(chóng)蠅裝置。
凈化車(chē)間之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為凈化車(chē)間。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，凈化車(chē)間無(wú)塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
潔凈室工程施工需結(jié)合實(shí)際情況綜合考量后，再遵守相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范，按具體詳細(xì)的施工圖紙制定施工計(jì)劃，整個(gè)凈化工程施工流程循序漸進(jìn)地有效執(zhí)行下去，以確保潔凈車(chē)間建設(shè)質(zhì)量能符合要求，達(dá)到預(yù)期的效果。
潔凈室工程施工流程：放線測(cè)量→潔凈室工程地面鑿平處理→通風(fēng)管道安裝→潔凈室工程圍護(hù)結(jié)構(gòu)安裝→潔凈室工程天花安裝→潔凈室工程PVC地板施工→儀器設(shè)備安裝→通風(fēng)設(shè)備及風(fēng)口安裝→設(shè)備調(diào)試→全系統(tǒng)測(cè)試
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