潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)特點
潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)與一般民用建筑的空調(diào)系統(tǒng)的不同,它首先對控制區(qū)的潔凈度有很高要求。導體器件廠房內(nèi),在硅襯底上只要落有電路線寬1/10~1/3大小的塵埃,就可能導致芯片電路短路。如今,半導體集成電路的發(fā)展突飛猛進,近英特爾公司更是推出了采用32
nm線寬的處理器芯片,把生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度控制推向了。另外,潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)除對潔凈度要求較高外,還對溫度、濕度、震動、噪音等都有不同程度要求。
同時,由于半導體器件生產(chǎn)工藝的特點,要求潔凈廠房內(nèi)全天(24h)保持相應的潔凈度,目此,潔凈空調(diào)系統(tǒng)(包括排風系統(tǒng))、為其配套的冷、熱源及相應的輸送系統(tǒng)需每天24
h運行,這也與其他空調(diào)系統(tǒng)極其不同。運行時間的增長也使其空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能更具有潛力和意義。
潔凈廠房建筑方式可分為土建結(jié)構(gòu)和裝配式兩種,其中普遍采用裝配式。裝配式潔凈廠房系統(tǒng)主要由初,中,高三級空氣過濾的空調(diào)送風回風和排風系統(tǒng);動力及照明系統(tǒng);工作環(huán)境參數(shù)的監(jiān)測報警消防和通訊系統(tǒng);人和物流系統(tǒng);工藝管路系統(tǒng);維護結(jié)構(gòu)及靜電地面處理等各方面所要求的實施內(nèi)容組成,形成空調(diào)凈化系統(tǒng)工程所包含的整個設備和器材的配套和建筑安裝內(nèi)容。
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凈化車間能夠有什么效果的存在? 凈化車間之效果在于操控商品(如硅芯片等)所觸摸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使商品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制作,此空間咱們稱之為凈化車間。依照世界慣例,無塵凈化等級主要是依據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于區(qū)分規(guī)范的粒子數(shù)量來規(guī)則。
也即是說所謂無塵并非100%沒有一點塵埃,而是操控在一個十分微量的單位上。
當然這個規(guī)范中契合塵埃規(guī)范的顆粒相關于咱們多見的塵埃已經(jīng)是小的微乎其微,可是關于光學結(jié)構(gòu)而言,哪怕是一點點的塵埃都會發(fā)生十分大的影響,所以在光學結(jié)構(gòu)商品的生產(chǎn)上,凈化車間無塵是必然的請求。
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