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送風(fēng)量大
潔凈度的提高和維持是半導(dǎo)體器件廠房空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)和運(yùn)行的重要任務(wù)，這一任務(wù)的完成要依賴(lài)很高的送風(fēng)量，是以高能耗為代價(jià)的。就送風(fēng)量而言，一般辦公大樓換氣次數(shù)為10h-1左右，而大規(guī)模半導(dǎo)件器件廠房?jī)?nèi)，為了滿足相應(yīng)的潔凈度要求，需要保證很高的換氣次數(shù)，致使循環(huán)風(fēng)量非常大。100級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)可選到400h-1，10000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)日選到40 h-1，100000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)也要30 h-1。
人是凈化間內(nèi)主要塵源之一。尤其是工作人員在潔凈環(huán)境中的活動(dòng)，會(huì)明顯地增加潔凈環(huán)境的污染程度。因此，要獲得生產(chǎn)環(huán)境所需要的空氣潔凈度等級(jí)，對(duì)凈化間的人員活動(dòng)進(jìn)行控制，是有效的途徑和措施。要把凈化間各項(xiàng)規(guī)章制度真正落到實(shí)處，關(guān)鍵就是人員的日常管理，把人員凈化管理作為首要控制要素，所以應(yīng)該針對(duì)凈化間進(jìn)出人員進(jìn)行各項(xiàng)培訓(xùn)。 （1）對(duì)新入職人員進(jìn)行凈化間潔凈知識(shí)培訓(xùn)。
（2）對(duì)操作人員在凈化間操作設(shè)備，搬運(yùn)物料的專(zhuān)項(xiàng)培訓(xùn)。
（3）對(duì)所有進(jìn)出凈化間的人員進(jìn)行衣著穿戴，進(jìn)出制度的培訓(xùn)。
（4）對(duì)所有人員在凈化間的日常行為規(guī)范的培訓(xùn)。
每項(xiàng)培訓(xùn)后，都要組織進(jìn)行培訓(xùn)效果的評(píng)估和考核，使人員在意識(shí)上認(rèn)知：人員是凈化間內(nèi)重要污染源，使大家在行動(dòng)上能恪守相關(guān)的行為準(zhǔn)則，比如：
a. 所有人員必須建立一個(gè)凈化間的概念，必須清楚地了解所有不規(guī)范的行為均有可能產(chǎn)生出廢品，并列舉出正確的凈化間行為規(guī)范及不規(guī)范的行為的種類(lèi)。
b. 進(jìn)入凈化間時(shí)，必須按正確流程穿戴凈化服、口罩、手套、凈化鞋。更換衣服時(shí)，必須防止干凈的凈化服拖到地面，或者和人員日常的非凈化服裝混放，造成凈化服表面被沾污。
c. 在凈化間中，人員的說(shuō)話、咳嗽、打噴嚏等都會(huì)使唾液從口罩與皮膚的縫隙處噴出而污染產(chǎn)品；在咳嗽或打噴嚏時(shí)，必須將頭從產(chǎn)品處移開(kāi)，打噴嚏后一般都要更換口罩；口罩一定要罩在鼻子上而不得戴在鼻下。
凈化工程行業(yè)是服務(wù)于高科技、國(guó)計(jì)民生的常青產(chǎn)業(yè)，科技的發(fā)展與居民日常生活質(zhì)量的提升無(wú)不有賴(lài)于凈化技術(shù)發(fā)展作為其幕后的支持。近年來(lái)，隨著人們生活水平的逐步提高，無(wú)塵車(chē)間相關(guān)技術(shù)也從服務(wù)技術(shù)與產(chǎn)業(yè)，逐漸向服務(wù)普通工作和生活領(lǐng)域擴(kuò)展，在食品生產(chǎn)和流通各環(huán)節(jié)、裝備制造、商業(yè)寫(xiě)字樓、大型數(shù)據(jù)中心、大型活動(dòng)場(chǎng)所，甚至美容化妝等領(lǐng)域都取得了廣泛的應(yīng)用。
無(wú)塵車(chē)間工程是指按照客戶(hù)的要求，提供對(duì)微粒、有害空氣等污染物的有效控制，溫度、濕度、噪聲、照度、潔凈度、室內(nèi)壓差、氣流速度與氣流分布、振動(dòng)、靜電等各項(xiàng)指標(biāo)均滿足安全生產(chǎn)需求的潔凈受控空間。無(wú)塵車(chē)間的主要作用在于為產(chǎn)品生產(chǎn)(如硅芯片等)和服務(wù)提供所需環(huán)境的潔凈程度，以及溫濕度、微震動(dòng)、噪聲、照度等各項(xiàng)指標(biāo)，使相關(guān)產(chǎn)品和服務(wù)能夠在一個(gè)滿足要求的、受控的、良好的環(huán)境空間中進(jìn)行生產(chǎn)和操作，從而達(dá)到提高產(chǎn)品生產(chǎn)的良品率，改善和提升相關(guān)服務(wù)質(zhì)量的目標(biāo)。
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