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無塵凈化廠房是以具有潔凈室和潔凈區(qū)作為重要標(biāo)志的生產(chǎn)廠房。根據(jù)《潔凈廠房沒計規(guī)范》GB50073中定義：潔凈室是指空氣懸浮粒子濃度受控的房間；潔凈區(qū)是指空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。潔凈室和潔凈區(qū)的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)或區(qū)域空間內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。
潔凈區(qū)可以是開放式也可以是封閉式。潔凈室的分類方法很多，但的是按潔凈室的氣流流型和潔凈室的使用性質(zhì)來進(jìn)行分類。
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器（HEPA） 進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室的擴(kuò)充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時相當(dāng)長一段時間。
溫度測試是確認(rèn)空氣處理設(shè)施的溫度控制能力，溫度測試應(yīng)在凈化車間進(jìn)行調(diào)試，氣流均勻性測試完成，并在凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運行24H以上后進(jìn)行。凈化車間的溫度測試有功能溫度測試和一般溫度測試。功能溫度測試主要用于需嚴(yán)格控制溫度精度時或建設(shè)方要求在“靜態(tài)”或“動態(tài)”進(jìn)行測試時應(yīng)用;一般溫度測試主要使用于“空態(tài)”時溫度測試。
潔凈車間功能溫度測試，應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積的柵格，每個分格面積不超過100平方米或與建設(shè)方協(xié)商確定，每格測點1個以上，每個房間測點至少2個。測試高度應(yīng)為工作面高度，距的吊頂、墻面和地面不小于300MM，并應(yīng)考慮熱源等的影響，測量時間應(yīng)至少1H，并至少6min測量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。凈化車間一般溫度測試的測點，每個溫度控制區(qū)或每個房間1個測點，測試點高度宜為工作面高度，測量時間應(yīng)至少1H，并至少6min測量一次，讀數(shù)穩(wěn)定后做好記錄。
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