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潔凈空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)
3.1 潔凈冷負(fù)荷計(jì)算
夏季冷負(fù)荷包括:維護(hù)結(jié)構(gòu)冷負(fù)荷、人員冷負(fù)荷、照明冷負(fù)荷、生產(chǎn)設(shè)備冷負(fù)荷、新風(fēng)冷負(fù)荷、風(fēng)管冷損、空調(diào)機(jī)組風(fēng)機(jī)負(fù)荷等。經(jīng)計(jì)算:100級(jí)區(qū)域冷負(fù)荷指標(biāo)為880W/m2,1000級(jí)冷負(fù)荷指標(biāo):480W/m2。普通區(qū)域(testarea)冷負(fù)荷指標(biāo):600W/m2(普通區(qū)域放置測(cè)試設(shè)備,發(fā)熱量較大)。
3.2 100級(jí)、1000級(jí)潔凈房的空調(diào)方式潔凈房采用FHU+DCU+FFU的空調(diào)方式,潔凈房空調(diào)及氣流組織形式見(jiàn)圖1。
其中,FHU為新風(fēng)機(jī)組(Freshairhandingu2nit),另外,新風(fēng)機(jī)組對(duì)新風(fēng)采取了初、中、高過(guò)濾處理。新風(fēng)機(jī)組包括:初效段,表冷段,中效段,加熱段(廠家有熱水系統(tǒng),采用熱盤(pán)管),加濕段(廠家有蒸氣),高段。其中,空氣清洗段廠家先要求預(yù)留,以后再增加新風(fēng)機(jī)組擔(dān)負(fù)潔凈房的濕度控制,保持潔凈房的正壓和人員新風(fēng)需求。
凈化空調(diào)系統(tǒng)組合式空調(diào)器安裝：
（1）安裝前應(yīng)檢查產(chǎn)品合格證，理解安裝說(shuō)明書(shū)，熟悉各功能段的安裝設(shè)置
（2）檢查安裝基礎(chǔ)的強(qiáng)度，坐標(biāo)位置，大小，標(biāo)高及水平度，以減少因傾斜引起的運(yùn)轉(zhuǎn)噪聲和振動(dòng)。
（3）對(duì)設(shè)備內(nèi)部進(jìn)行清洗，擦拭清除塵雜物和油污。檢查送回風(fēng)機(jī)是否有雜物，手動(dòng)旋轉(zhuǎn)葉輪時(shí)是否有異響。
（4）檢查設(shè)備各檢修門(mén)是否平整，啟閉是否正常，密封是否脫落，關(guān)門(mén)檢查箱體是否有漏光，空調(diào)允許漏風(fēng)率不大于2％。
（5）檢查設(shè)備內(nèi)表冷器是否有明顯損壞，隨機(jī)配套風(fēng)量調(diào)節(jié)是否啟閉正常，對(duì)表冷器碰歪的翅片應(yīng)以校正。
（6）空調(diào)器送回風(fēng)風(fēng)口與風(fēng)管連接處應(yīng)采取柔性連接。
（7）設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查機(jī)內(nèi)初中效過(guò)濾器是否有明顯洞孔，松脫。
凈化車(chē)間之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱(chēng)之為凈化車(chē)間。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，凈化車(chē)間無(wú)塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)的1K級(jí)別。
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