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潔凈空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)
3.1 潔凈冷負(fù)荷計(jì)算
夏季冷負(fù)荷包括:維護(hù)結(jié)構(gòu)冷負(fù)荷、人員冷負(fù)荷、照明冷負(fù)荷、生產(chǎn)設(shè)備冷負(fù)荷、新風(fēng)冷負(fù)荷、風(fēng)管冷損、空調(diào)機(jī)組風(fēng)機(jī)負(fù)荷等。經(jīng)計(jì)算:100級(jí)區(qū)域冷負(fù)荷指標(biāo)為880W/m2,1000級(jí)冷負(fù)荷指標(biāo):480W/m2。普通區(qū)域(testarea)冷負(fù)荷指標(biāo):600W/m2(普通區(qū)域放置測(cè)試設(shè)備,發(fā)熱量較大)。
3.2 100級(jí)、1000級(jí)潔凈房的空調(diào)方式潔凈房采用FHU+DCU+FFU的空調(diào)方式,潔凈房空調(diào)及氣流組織形式見(jiàn)圖1。
其中,FHU為新風(fēng)機(jī)組(Freshairhandingu2nit),另外,新風(fēng)機(jī)組對(duì)新風(fēng)采取了初、中、高過(guò)濾處理。新風(fēng)機(jī)組包括:初效段,表冷段,中效段,加熱段(廠家有熱水系統(tǒng),采用熱盤(pán)管),加濕段(廠家有蒸氣),高段。其中,空氣清洗段廠家先要求預(yù)留,以后再增加新風(fēng)機(jī)組擔(dān)負(fù)潔凈房的濕度控制,保持潔凈房的正壓和人員新風(fēng)需求。
在凈化車間裝修過(guò)程中，必須隨時(shí)清掃灰塵，對(duì)隱蔽空間如吊頂和夾墻內(nèi)部等做好清掃記錄。對(duì)已安裝過(guò)濾器的房間，不得進(jìn)行有粉塵作業(yè)。應(yīng)保護(hù)已完成的裝飾工程表面，不得因撞擊、、敲打、多水作業(yè)等造成板材凹陷、暗裂和表面裝飾的污染。條密封膠嵌固時(shí)，應(yīng)將基槽內(nèi)的雜質(zhì)、污油剔除干凈，并保持表面干燥。
塑料板材或卷材面層鋪貼前應(yīng)預(yù)先按規(guī)格大小、厚薄分類，板材或卷材與地面之間應(yīng)滿涂粘接劑，表面趕平，不得漏涂或殘存空氣。凈化車間裝修現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)保證良好的通風(fēng)和照明，對(duì)于改建工程，應(yīng)查明和切斷原有電源及、和有毒氣體管線后方可施工，對(duì)工藝生產(chǎn)過(guò)程中使用的腐蝕性液體應(yīng)有安全防護(hù)措施。凈化車間裝修臨時(shí)設(shè)置的設(shè)備入口不用時(shí)應(yīng)封閉，防止塵土雜物進(jìn)入。
凈化車間之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為凈化車間。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，凈化車間無(wú)塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
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